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真空核心零部件

APC自动控压插板阀
APC（Automatic Pressure Control，APC）自动压力调节插板阀应用于真空腔室的压力调节或真空隔断，控制精度高，响应速度快，震动噪音小。
阀板作为调节元件，通过不同位置改变阀门通经流导大小，控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根据腔体容积、流量等条件自学习，自动建立压力控制参数。用户上位机输入设定工艺真空压力，APC压力控制器通过与压力传感器实时反馈腔体压力值比对，自动计算所需阀板位置，快速精准到达预定位置并适当微调，以获得设定的真空压力值。

性能指标

外形尺寸图

配置清单

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