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真空核心零部件

APC自动控压蝶阀
自动压力调节蝶阀应用于真空腔室压力调节或真空隔断。阀板作为调节元件，不同的角度位置改变阀门通径中气体流导的大小，实现泵有效抽速的调节。自动压力调节蝶阀根据客户腔体容积、流量等参数，通过特殊算法，建立压力控制参数。用户输入工艺压力，自动压力调节蝶阀根据内部算法调整阀板位置，快速实现工艺压力的动态平衡。

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