◆ 可配置多种真空接口，便于拓展。
◆ 可配置成无油真空系统。抽速稳定，可用于多种工况。
◆ 可单独移动，方便操作。具有手动、自动功能。
| 型号 | 机组稳定抽速（L/S） | 空载极限真空（Pa） | 分子泵型号 | 前级泵 | 机组尺寸（mm，不含罗茨泵） |
| FJ620 | 620 | 9×10-5 | FF-160/620 | 干泵或旋片泵 | 650×550×1200 |
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