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工艺过程装备

多工位排气台
在一定温度下,对传感器芯片进行加热除气处理.
极限真空度(冷态):≤2x10??Pa
工位数:90工位
加热温度:200℃
温度均匀性:±5℃℃
温度过冲≤3℃℃

性能指标

工位数:90工位
加热温度:200℃
温度均匀性:±5℃℃
温度过冲≤3℃℃

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