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工艺过程装备

管式充排气及检漏装置
可用于对只有一个开口的管式器件进行抽气、充气及检漏
该设备能使管式器件内部到达高洁净度环境，能根据要求对管式器件内充不同的气体，能对管式器件进行检漏（需搭配氦质谱检漏仪）。

性能指标

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